基于非易失相变与载流子吸收协同调控的电控光衰减器

本发明涉及一种基于非易失相变与载流子吸收协同调控的电控光衰减器，包括：主波导结构；多段衰减单元，沿所述主波导结构中光信号的传播方向依次排列设置在所述主波导结构上，多段相变衰减单元用于实现对光信号的离散粗调控制，而微调单元利用载流子吸收效应实现连续细调补偿，二者协同构成分级可编程的光功率调控体系。本发明能够实现非易失与连续可调功能相结合的光功率精准控制，满足集成光子系统对高动态范围和高精度衰减器件的需求。