一种基于图像识别与动态拟合的套刻误差实时矫正系统

本发明公开一种基于图像识别与动态拟合的套刻误差实时矫正系统，属于半导体先进封装制造领域。系统包含图像采集、误差解耦和动态补偿三大模块，形成闭环控制。图像采集模块采用高分辨率线阵CCD及AI算法，实现高速高精度标记识别与误差量化；误差解耦模块利用PCA、区域权重矩阵和LSTM等，对系统误差、随机误差进行解耦与趋势预测；动态补偿模块通过异构平台运算，基于误差热力图，以DMD光学系统实现μs级分区图形补偿。该系统支持100Hz以上实时处理，在FOPLP等工艺中，可使平均套刻误差≤0.3μm，响应时间＜5秒，有效解决传统方法滞后、精度低等问题，显著提升制造良率与产线效率。