离轴照明系统数值孔径调整装置及数值孔径调节方法

本公开提供了一种离轴照明系统数值孔径调整装置，可应用于照明机械结构技术领域。该装置包括：离轴镜组，固定安装于镜筒Z向驱动系统的Z向运动输出端；镜筒Z向驱动系统，被配置为驱动m个离轴镜组沿轴向运动；四边位移角度驱动系统，包括环板和m个反射镜调整单元；反射镜调整单元包括反射镜组Z向驱动模块和反射镜组角度驱动模块；反射镜组角度驱动模块的输出端设置有反射镜组；反射镜组Z向驱动模块驱动反射镜组沿轴向运动，反射镜组角度驱动模块驱动反射镜组绕平行于环板圆周转动，通过调整反射镜组的空间位置和角度，实现数值孔径的调整；m为大于等于2的整数。