一种线性分布喷淋组件及显影装置

本发明提供了一种线性分布喷淋组件及显影装置，包括：进液部内开设进液路；线性储液结构的一侧设有进液部；线性储液结构内开设有第一级分流流道、储液槽和第二级分流流道，第一级分流流道的入口端连通至进液路的出口端；第一级分流流道下开设储液槽，第一级分流流道的出口端连通至储液槽；储液槽下开设有第二级分流流道。本发明的显影装置通过设置的进液部侧向连接线性分布喷淋组件、以及线性分布喷淋组件的两级分流流道的设计，能够确保显影液在晶片表面均匀分布，避免了因喷淋不均而导致的显影质量问题。