一种半导体工厂厂务系统的容量管控装置及方法

本发明公开了一种半导体工厂厂务系统的容量管控装置及方法，容量管控装置包括：需求端模块，用于获取半导体工厂中的机台设备位置信息及用量需求信息；供应端模块，用于获取半导体工厂中厂务系统的管道位置信息及管道供应容量；容量管控模块，用于接收需求端模块给出的机台设备位置信息及供应端模块给出的管道位置信息，实现各机台设备与各管道的柱网匹配，以及，接收需求端模块给出的用量需求信息及供应端模块给出的管道供应容量，并结合点位分配方式实现半导体工厂厂务系统的容量管控。本发明以半导体工厂中厂务系统与机台设备在空间维度上的数据联通，对整厂动力容量全面动态管控，避免需求端与供应端不匹配造成的成本浪费。