一种半导体温控设备及温控方法

本发明涉及半导体领域，尤其涉及一种半导体温控设备及温控方法。半导体温控设备包括第一三通阀、半导体温控装置和溴化锂吸收式制冷装置，半导体温控装置与第一三通阀的第一接口以及主设备的入口连通。通过设置溴化锂吸收式制冷装置，能够对半导体温控装置带来的客户端的热量进行再次利用，能够降低载冷剂进入半导体温控装置的温度，从而降低换热设备的热负荷及压缩机的能耗，同时溴化锂吸收式制冷装置产生的冷量也可以对客户端的厂务水系统进行冷却，降低客户厂务水的负荷。通过第一三通阀对进入溴化锂吸收式制冷装置的载冷剂流量进行精确控制，进而精确控制进入水箱的载冷剂的温度。