通过强化学习来自主设计半导体制造工艺系统的方法和系统

本发明涉及一种通过强化学习来自主设计半导体制造工艺系统的方法和系统。具体地，本发明涉及一种利用子系统和系统数字孪生自主设计半导体制造工艺系统的系统和方法。通过AI机器的AI引擎，利用策略神经网络和MCTS程序，通过强化学习方法来探索庞大的工艺配方参数空间，以确定出最优的工艺配方。该AI引擎还可识别性能瓶颈，并通过重新设计工艺系统中的相关子系统来消除这些瓶颈。