基于点云数据的工件刻线深度检测方法、装置

本申请涉及一种基于点云数据的工件刻线深度检测方法、装置。所述方法包括：获取被测工件的点云数据并进行下采样；对下采样后的点云数据进行基于标量域自注意力机制的高斯滤波，得到标量域增强的点云数据；对增强后的点云进行统计滤波以剔除离群点；基于标量域阈值筛选得到刻线区域；在刻线区域内拟合刻线的直线模型；在刻线邻近区域拟合基准平面模型；计算刻线到基准平面的距离得到刻线深度。采用本方法能够实现对微纳米尺度带刻线工件深度的高精度、高效率检测。