一种低阈值MEMS惯性开关

本发明涉及微机电系统器件技术领域，公开了一种低阈值MEMS惯性开关。低阈值MEMS惯性开关包括锚区、质量块、保持触点、开关触点、驱动‑支撑梁。锚区在x方向上相对间隔设置；质量块设置在锚区之间，且与锚区有间距；保持触点设置在质量块内；开关触点设置在质量块内且在y方向上与保持触点间隔开；驱动‑支撑梁分布在质量块的相对两侧并与锚区连接，以支撑并驱动质量块沿y方向运动。本发明提供的开关具有低阈值触发、功耗低、灵敏度高、切换速度快、结构可靠、小型化的优点。