一种板-梁组合结构多自由度微型压电驱动器

本发明涉及一种板‑梁组合结构多自由度微型压电驱动器，属于压电驱动技术领域，包括驱动部件，被驱动的滑块摩擦接触在驱动部件的驱动末端；驱动部件包括由板梁组合构成的基体，基体上设有压电元件，驱动滑块实现多自由度运动。驱动部件包括组合板‑梁基体和多个促使组合板‑梁基体产生振动的压电元件，压电元件设置在梁结构端，促使组合板‑梁基体的驱动端在水平面的两个相垂直的第一方向和第二方向的弯曲变形或振动；板结构端设有压电元件，促使与第一方向和第二方向相垂直的第三方向的纵向变形或振动。本发明能够解决当前多自由度微型压电驱动器构型复杂、激励方案繁琐、驱动难度高、驱动效率和精度有限的技术问题。