一种嵌入式电极结构的横向激励体声波谐振器

本发明涉及一种嵌入式电极结构的横向激励体声波谐振器，属于射频通信技术领域，包括衬底、温度补偿层、压电层，三者存在以下布局中的至少一种：①所述温度补偿层、所述压电层顺次形成在所述衬底上，所述压电层背离所述温度补偿层的一侧刻蚀有凹槽阵列；②所述压电层、所述温度补偿层顺次形成在所述衬底上，所述压电层近所述温度补偿层的一侧及所述温度补偿层上刻蚀有凹槽阵列；所述横向激励体声波谐振器还包括嵌入式电极结构和空腔，所述嵌入式电极结构形成在所述凹槽阵列中，以抑制杂散模态；所述空腔形成在所述衬底中。与现有技术相比，本发明提供的谐振器能有效抑制杂散模态，使谐振频率(f)和反谐振频率(f)之间的导纳曲线更加平滑。