一种基于叉指掺杂与热调技术的高速光电探测器及制备方法

本发明提供一种基于叉指掺杂与热调技术的高速光电探测器及制备方法，本发明高速光电探测器包括衬底层、设置在衬底层上表面的基板层，所述基板层上表面设有隔离介质层，所述隔离介质层上表面设有第一偏置电极和第二偏置电极，所述第一偏置电极和第二偏置电极之间设有若干个正掺杂区和负掺杂区，所述正掺杂区和负掺杂区交错排列形成叉指结构，所述第一偏置电极与所述正掺杂区叉指的一端电性连接，所述第二偏置电极与所述负掺杂区叉指的一端电性连接，所述叉指结构上表面设有锗吸收层，所述锗吸收层上方设有金属加热层及加热电极，所述锗吸收层和金属加热层之间通过隔离介质层隔离。本发明能够实现光通信全波段覆盖，提升探测器响应度。