一种红外焦平面探测器芯片的先电极结构及制备方法

一种红外焦平面探测器芯片的先电极结构及制备方法，N型衬底采用扩散或离子注入方式成结，且通过湿法腐蚀或干法刻蚀制备形成台面结构；电极层直接制备于衬底材料的台面上，与衬底台面形成欧姆接触；钝化层为双层钝化膜结构，铟柱层通过光刻显影、镀膜机及剥离工艺制备，与暴露后的电极层直接接触；本发明基于磁控溅射、光刻、湿法腐蚀等成熟半导体工艺，无需新增专用设备，可直接适配现有生产线，降低了技术升级与产业化应用的成本，为低成本、大尺寸小像元红外焦平面阵列光电传感器的规模化应用奠定基础。