BSG层制备方法、TBC电池及其制备方法

本发明提供了一种BSG层制备方法、TBC电池及其制备方法，涉及太阳能电池的技术领域，所述BSG层制备方法包括在通过硼扩散形成的初始BSG层上制备均匀化BSG层，所述初始BSG层与所述均匀化BSG层叠加形成完整BSG层；所述均匀化BSG层通过至少两个循环单元制备得到；所述循环单元包括沉积BSG层和采用修复气体对BSG层进行修整处理，其中，各沉积步骤的温度沿工艺顺序依次降低。本发明通过分步变温沉积BSG方式与每步沉积前后都去除不平整薄层的有效结合，达到BSG层均匀性的提高，最终提高良率及转换效率。