一种微波芯片生产用自动化上下料设备

本发明公开了一种微波芯片生产用自动化上下料设备，涉及上下料技术领域，旨在解决机械臂内部的零部件运动时容易产生微小的尘埃颗粒，这些尘埃颗粒容易造成芯片的短路、开路或降低绝缘性能的技术问题，包括机械臂主体，机械臂主体执行端布置有晶圆抓取组件，晶圆抓取组件由真空吸盘组件、外层气帘阻尘组件、内层气旋清尘组件、吸尘组件和功能柱组成，真空吸盘组件顶部通过功能柱与机械臂主体执行端连接，外层气帘阻尘组件布置于真空吸盘组件上方，内层气旋清尘组件布置于真空吸盘组件底部，吸尘组件布置于外层气帘阻尘组件上方。本发明具有通过双层气流形成的双层防护效果，极大程度的提高了真空吸盘组件下方环境的洁净度的优点。