WAT测试结构及测试方法

本发明提供一种WAT测试结构及测试方法，WAT测试结构包括第一测试结构和第二测试结构，第一测试结构中的第一金属互连结构与第一控制栅电性连接；第二测试结构中的第二金属互连结构与第二控制栅断开，第二控制栅的结构与第一控制栅的结构相同。在测试方法中，根据第一测试结构的漏电流和第二测试结构的漏电流，可以有效判断出失效发生于控制栅还是金属互连结构中。