一种基于激光传感器的晶圆寻心定位装置及方法

本申请公开了一种基于激光传感器的晶圆寻心定位装置及方法，涉及半导体制造技术领域，该装置包括旋转平台、激光传感器、步进电机及处理单元；旋转平台用于承载晶圆；激光传感器设置于旋转平台的一侧，激光传感器用于检测晶圆的边缘与预设基准点之间的距离；步进电机与旋转平台驱动连接，步进电机用于驱动旋转平台及晶圆旋转；处理单元分别与激光传感器及步进电机连接，处理单元配置包括：接收激光传感器发送的初始距离值；控制步进电机驱动旋转平台旋转，并实时接收激光传感器在不同旋转角度下发送的距离数据；根据距离数据及对应角度值建立极坐标，通过极坐标与直角坐标的转换计算得到晶圆实际圆心相对于目标圆心的偏差，实现晶圆的寻心定位。