纯水制造装置

本发明提供一种纯水制造装置，其能够在各去离子水制造装置中实现足够快的流速，并且能够抑制施加过高的压力而使去离子水制造装置损伤。纯水制造装置具有：升压泵（3），其配置于去离子水制造装置（1、2）彼此之间；以及压力计（4b），其配置于升压泵3与位于该升压泵（3）的上游侧的去离子水制造装置（1）之间。位于升压泵（3）和压力计（4b）的上游侧的至少一个去离子水制造装置（1）是电再生式的去离子水制造装置。升压泵（3）动作的开始和动作的停止中的至少一者是基于压力计（4b）的测定值来进行的。