一种四氟化硅纯化用催化剂、制备方法及用途

本发明公开了一种四氟化硅纯化用催化剂，所述四氟化硅催化剂包括载体以及附着所述载体上的金属氧化物，金属氧化物的附着量为载体质量的60～80％，其中所述载体为γ三氧化二铝；金属氧化物为氧化钴，同时改性掺杂钡和镁。本发明还涉及一种四氟化硅纯化用催化剂的制备方法，主要步骤为制备沉淀附着在载体上，进行焙烧。本发明制备的催化剂，用于将四氟化硅中的笑气分解为氮气和氧气，本发明具备良好的催化转化效果，催化剂可重复利用，无需高温的条件即可实现笑气的去除，降低能耗的同时还降低了催化剂的制备成本。