一种基于贝塞尔光束的双螺旋形结构微孔加工方法及系统

本发明提供了一种基于贝塞尔光束的双螺旋形结构微孔加工方法及系统。其中，加工方法包括通过滤波与扩束准直模块对激光束进行高频成分消除和扩束准直；通过光功率与偏振方向调节模块对光束调节产生偏振光；通过相位调制模块对光束进行相位调制，使光束的波前为螺旋结构；通过波前手性镜像模块将光束分为两束，两路光束分别经过若干次反射，其中一路光束加入时间线，以调节时间延迟；通过贝塞尔光束产生模块将两路光束调制产生贝塞尔光束后进行合束；通过光束聚焦模块对合束光进行聚焦。本发明的加工方法提高了螺旋形结构微孔的加工精度。