一种一体化晶圆倒角加工设备

本发明公开了一种一体化晶圆倒角加工设备，包括柜体、检测单元、自动上下料单元、主传输机构、横向传输机构、纵向传输机构、测厚及位置校准单元、磨削单元和清洗单元，检测单元、自动上下料单元、测厚及位置校准单元、磨削单元和清洗单元通过主传输机构、横向传输机构和纵向传输机构串联，共同形成环形结构。达到的技术效果为：布局更加紧凑，可满足自动化工厂生产需求；晶圆传输路径为环形，可有效降低各工位间流转冲突，提升生产效率；主传输机构只负责上下料与送片检测，可降低其精度要求，降低加工成本；测厚及位置校准单元与磨削单元、清洗单元采用直线布置，依靠横向传输机构在各工位之间转移，精度更易保证。