一种非球面镜中高频误差共形平滑抛光盘及抛光方法

本发明公开了一种非球面镜中高频误差共形平滑抛光盘及抛光方法，属于光学制造技术领域。所述抛光盘采用三明治夹层结构，包括铜制刚性基底层、柔性橡胶层和平滑抛光沥青层。铜基底层位于最底层，提供结构支撑，其外形为扇形，张角为30‑45度，底面为与被加工非球面共形的曲面；柔性橡胶层位于中间，赋予抛光层长周期弹性变形能力；抛光沥青层位于最外侧，其抛光面与非球面镜曲面一致，确保良好贴合。抛光时，抛光盘沿非球面母线方向做直线往复振动，非球面镜绕自身轴匀速转动，通过两者相对运动实现材料去除。该结构兼具对低频面形的适应性和对中高频误差的刚性抑制能力，有效平滑中频误差，提升面形质量。