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案件記録

一种抛光液供液装置

発明有効
9請求項 · 1 独立
§ Ⅰ

案件概要

発明者

任红州; 张宇; 魏鹏

IPC分類

B24B 57/02 (2006.01)B24B 57/00 (2006.01)B24B 55/06 (2006.01)B24B 49/16 (2006.01)H10P 72/00 (2026.01)F28D 21/00 (2006.01)F17D 1/14 (2006.01)F17D 3/01 (2006.01)

本发明涉及一种抛光液供液装置,包括:装置主体,所述装置主体正面安装有抛光液供液桶,抛光液供液桶的输出端对接有抛光液输出泵,所述抛光液输出泵对接装置主体背面安装的输出管组件,所述输出管组件用于将抛光液输出至抛光加工系统,所述装置主体背面还安装有回收管组件,所述回收管组件用于抛光液的回收输送,所述回收管组件对接装置主体背面安装的换热组件。本发明通过输出和回收双管路配置压力传感器,实时监测过滤器堵塞状态并自动切换备用管路,避免停机更换滤芯,滤芯寿命提升,同时残留抛光液可通过底部导管快速排空,减少被污染风险。

外部リソース