一种多产品化的高纯度氦气提纯方法

本发明公开了一种多产品化的高纯度氦气提纯方法，包括：S1、将含氖气和高沸点气体的氦气原料气降温至第一温度区间，通过第一吸附罐吸附脱除液化高沸点气体，获得脱除高沸点气体的氦气混合气体；S2、将脱除高沸点气体的氦气混合气体降温至第二温度区间，使氖气在冷冻罐内固化分离，输出含微量氖气的未液化氦气；S3、将含微量氖气的未液化氦气通入第二吸附罐吸附残留氖气，获得高纯度氦气产品；S4、将冷冻罐内固化的氖气升温气化，输出回收纯净氖气。本发明采用低温冷冻+多级吸附的提纯方法，令得到的产品气满足超纯氦气要求，并且还可达到半导体行业氦气使用要求，还可自动切换吸附罐、冷冻罐的工作阶段，实现自动控制、连续生产。