一种氧化铈纳米颗粒及其制备方法和应用

本发明涉及电子抛光技术领域，特别是涉及一种氧化铈纳米颗粒及其制备方法和应用，所述制备方法包括：S1、将铈盐溶液与L‑谷氨酸混合，得到混合液；S2、向混合液中加入复合分散剂，得到前驱体溶液，调节前驱体溶液的pH至9‑10，进行沉淀反应，得到沉淀产物；S3、对沉淀产物进行升温、保温和晶化处理，得到反应液；S4、将反应液离心、干燥，得到氧化铈纳米颗粒；S2中复合分散剂包括十二烷基苯磺酸钠和聚乙烯吡咯烷酮。由本发明提供的制备方法得到的氧化铈纳米颗粒，平均粒径为10‑15nm，PDI<0.15，分散性优异。产物的纯度达到99.9%，避免了传统沉淀工艺中出现的粒径分布宽、分散性差的现象。