一种高长径比靶材及其制备方法和应用

本发明公开了一种高长径比靶材及其制备方法和应用。本发明的高长径比靶材的制备方法包括以下步骤：1)制备混合物粉体；2)将混合物粉体进行预烧，得到预烧粉体；3)将预烧粉体、粘结剂、分散剂和溶剂混合进行球磨或砂磨，再进行干燥和造粒，得到造粒颗粒；4)将不同粒径的造粒颗粒注入模具，通过多段分级升压保压进行成型，得到坯件；5)将坯件进行烧结，得高长径比靶材。本发明通过改进坯体压制过程、靶材组成成分、预烧与烧结的气氛、造粒颗粒组成、烧结工艺等，制备得到了高长径比、均匀性好、具有一定电导率、在电子束轰击过程中不会炸裂的靶材，适合进行大规模工业化生产和应用。