一种碱可溶性树脂及其制备方法、感光干膜抗蚀剂

本发明公开了一种碱可溶性树脂及其制备方法、感光干膜抗蚀剂，属于感光干膜抗蚀剂技术领域。所述碱可溶性树脂的结构式如式Ⅰ所示：。本发明碱可溶性树脂中聚马来酸酐改性为聚马来酰亚胺，同时在聚马来酰亚胺的N原子上引入含氟基团，两者协同作用，可以有效提升相应碱可溶性树脂的感光干膜的耐电镀性，减少感光干膜抗蚀剂产品在使用过程中出现渗镀或甩膜的现象。采用氟取代马来酰亚胺聚合物还可以改善感光干膜抗蚀剂在涂布过程中的流平性，降低干膜体积收缩率，进而提高感光干膜的成品良率。