一种耐高温耐磨损的梯度结构涂层和制备方法及应用

本申请公开了一种耐高温耐磨损的梯度结构涂层和制备方法及应用，梯度结构涂层包括在基体表面依次沉积的AlCrNi层、AlCrNiN层及AlCrNiN/AlTiN纳米多层结构。制备方法包括如下工艺步骤：S1，将基体预处理后装入镀膜腔室，镀膜腔室抽真空和加热；S2，镀膜腔室中通入惰性气体，开启直流脉冲偏压电源，对基体进行辉光清洗；S3，镀膜腔室内调节气压，开启Cr靶，对基体进行刻蚀；S4，镀膜腔室内调节气压，开启AlCrNi溅射靶沉积AlCrNi层；S5，镀膜腔室内通入氮气和惰性气体，沉积AlCrNiN层；S6，调节氮气流量，同时开启AlCrNi溅射靶和AlTi电弧靶，沉积AlCrNiN/AlTiN纳米多层结构。本申请可广泛应用于耐高温耐磨损涂层技术领域。