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기록

一种用于环状零件类金刚石膜层涂覆装置

발명유효
10청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

张家荣; 马心全; 曹发红; 叶贵星

IPC 분류

C23C 14/50 (2006.01)C23C 14/06 (2006.01)C23C 16/458 (2006.01)C23C 16/26 (2006.01)

本发明公开了一种用于环状零件类金刚石膜层涂覆装置,包括轴承杆、上底座、下底座及至少两个能将环状零件试片悬空支撑的支撑机构;上、下底座螺纹连接在轴承杆上;每个支撑机构由扩展臂和支撑臂组成,扩展臂一端铰接于上底座,另一端通过滑动连接螺栓与支撑臂一端铰接,支撑臂另一端与下底座抵接。通过调节上、下底座高度及滑动连接螺栓在扩展臂活动孔中的位置,可灵活调整支撑直径与角度,从而从内部撑紧并悬空支撑不同尺寸的环状零件。轴承杆底部的十字卡销便于连接外部旋转装置,实现零件360°旋转。本发明有效解决了传统固定方式导致的涂覆遮挡问题,实现了环状零件外表面全方位、均匀高效的类金刚石膜层涂覆,且操作简便,适用性广。