一种真空镀膜设备

本说明书实施例提供一种真空镀膜设备，包括观察窗结构、衬套和观察窗通道；所述观察窗通道设置在真空镀膜设备的腔体侧壁上，观察窗结构与所述观察窗通道相连接，观察窗结构的中心处设置有高透玻璃；衬套设置在观察窗通道内并与观察窗结构相抵接，观察窗通道与气路相连，气路用于将惰性气体经衬套输送至腔体处，以减少腔体内原有的气体扩散至高透玻璃处。本设备通过在观察窗结构处增设一个与气路连通的衬套，可将惰性气体导流至腔体处，从而减少乃至隔绝腔体内的气体扩散至观察窗结构的高透玻璃处，避免溅射污染高透玻璃，有利于保证高透玻璃的观察效果。且本设备结构简单，易于操作，有利于降低设备成本和人力成本。