一种免剥离自脱落的金刚石膜及其制备方法和应用

本发明公开了一种免剥离自脱落的金刚石膜的制备方法、金刚石膜及其应用，该制备方法包括：在硅衬底上沉积过渡层，所述过渡层的材料的热膨胀系数高于硅衬底和金刚石的热膨胀系数；在所述过渡层上沉积金刚石种晶层，在所述金刚石种晶层上沉积金刚石厚膜，沉积完成后进行降温，所述降温的速率为20‑40 ℃/min；采用激光切割金刚石厚膜边缘，使得金刚石厚膜自脱落得到自支撑金刚石厚膜。利用该制备方法能够实现自脱落、免剥离式制备金刚石膜，且能够制备得到翘曲度低、结构完整、高导热性能的自支撑金刚石厚膜。