用于金属阴影板的高精度刻蚀优化方法及装置

本发明公开了用于金属阴影板的高精度刻蚀优化方法及装置，涉及刻蚀技术领域，包括：读取刻蚀图案信息，执行不同刻蚀位置刻蚀深度标记，生成刻蚀深度分布图；采集刻蚀液信息和金属板基材信息，按照预设侧壁精度需求执行侧向腐蚀行为仿真，建立极限单次刻蚀约束；按照极限单次刻蚀约束，基于所述刻蚀深度分布图执行分次遮挡刻蚀分割，生成分次刻蚀参数，每次的刻蚀参数包括曝光显影参数和刻蚀控制参数；以所述分次刻蚀参数对金属板基材进行分次刻蚀控制。本发明解决现有技术刻蚀深度不均和侧向腐蚀难控的技术问题，通过建立极限单次刻蚀约束并实施分次遮挡刻蚀，达到提高刻蚀精度和一致性的技术效果。