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기록
一种单晶硅棒及其制备方法、硅片
발명유효
1조회수
12청구항 · 3 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
张净源; 娄中士; 李鹏飞; 李振; 王旭升; 田旭东; 周宏邦; 袁长宏; 王文杰; 孙志超; 李泰文; 段媛媛
IPC 분류
C30B 15/04 (2006.01)C30B 29/06 (2006.01)
本申请实施例公开了一种单晶硅棒及其制备方法、硅片，属于半导体领域。该制备方法包括：将待添加的掺杂剂放入硅管盒；将硅管盒投入硅原料进行单晶硅棒的拉制。本申请的技术效果在于：通过在投料时，将掺杂剂放入硅管盒中，减少掺杂剂投放的损失，进而改善单晶硅棒电阻率中靶率。