一种二维应变超晶格材料及其制备方法和应用

本发明公开了一种二维应变超晶格材料及其制备方法和应用，属于二维半导体材料制备技术领域。一种制备二维应变超晶格材料的方法：S1.将单晶氧化铝衬底先在空气氛围下进行热处理后再在硫蒸汽氛围下进行热处理获得具有硫钝化的表面结构；S2.将过渡金属元素源与非金属源在保护气体氛围下在纳米结构衬底上进行化学气相沉积形成薄膜，后将薄膜转移至衬底获得具有纳米周期褶皱的二维应变超晶格材料。本发明提供使用纳米结构表面的单晶氧化铝衬底生长高质量二维应变超晶格材料，通过在热处理单晶氧化铝衬底形成纳米结构，与过渡金属和非金属源在保护气体的氛围下在衬底上进行化学气相沉积反应，从而可得到高质量的二维应变超晶格材料。