碳化钽涂层及其制备方法

本申请涉及一种碳化钽涂层及其制备方法。该方法包括如下步骤：在酸性条件下，采用过氧化氢对基板进行处理，以在所述基板表面接枝含氧官能团，制备第一预处理基板；将金属盐溶液转移至所述第一预处理基板表面，干燥后进行焙烧处理，以在所述第一预处理基板表面形成金属氧化物，制备第二预处理基板；在保护性气体下，通过还原性气体将所述金属氧化物还原为金属单质，然后在金属单质催化下，通入气相碳源，以在所述第二预处理基板表面原位生成碳纳米管涂层，制备第三预处理基板；在保护性气体下，通过气相钽源、气相碳源以及还原性气体在所述碳纳米管涂层表面进行化学气相沉积，制备碳化钽涂层。