通过化学气相沉积的单晶合成金刚石材料

本申请公开了一种通过化学气相沉积的单晶合成金刚石材料。该材料包含通过二次离子质谱法（SIMS）测量的至少3 ppm的总氮浓度；和低的光学双折射，使得:在具有至少1.3 mm×1.3 mm面积的该单晶CVD金刚石材料的样品中，并且使用在1×1μm至20×20μm范围内的面积的像素尺寸测量，Δn的最大值不超过1.5×10，其中Δn是将对于与慢轴和快轴平行偏振的光而言的折射率之差遍及样品厚度取平均的平均值。还公开了制备该材料的方法。