热场调节装置、单晶炉和热场调节方法

本发明提供一种热场调节装置、单晶炉和热场调节方法，热场调节装置应用于单晶炉，单晶炉包括炉体，炉体内设置导流筒，导流筒的中心被设置为晶棒提拉区域，热场调节装置设置于导流筒的内侧壁和晶棒提拉区域之间，热场调节装置包括：沿着导流筒的径向方向层叠设置的电热薄膜和电极层，以及外置于炉体的控制单元；所述控制单元被配置为通过控制所述电极层的通电状态，以调节施加于所述电热薄膜上的电场的强度，使得所述电热薄膜在吸热状态和放热状态之间转换。基于电热效应原理，所述控制单元通过控制所述电极层的通断电，以使得所述电热薄膜在吸热状态和放热状态之间转换，能够显著提升热场的响应速度，有效抑制瞬时温度波动。