一种蒸气腐蚀设备和腐蚀方法

本申请涉及腐蚀设备领域，公开了一种蒸气腐蚀设备和腐蚀方法，设备包括：具有炉腔和开口的腐蚀炉体，所述炉腔的底部用于盛放腐蚀剂，所述开口位于所述腐蚀炉体的顶部；设于所述炉腔中的载具，用于竖直承载待腐蚀晶圆；设于所述腐蚀炉体的底部外侧的第一加热器，用于加热所述腐蚀剂产生腐蚀蒸气；设于所述开口处的气体控制组件，用于将所述炉腔内顶部的腐蚀蒸气压入所述炉腔的底部。该设备可以解决晶圆腐蚀时出现的裂片、晶体结构损坏以及腐蚀速率难以控制的问题，同时可以减少腐蚀剂的用量，降低腐蚀成本。