一种纳米级精度的直线作动仪及装配方法

一种纳米级精度的直线作动仪及装配方法，采用直线电机和压电促动器混合直驱技术，通过双闭环控制，实现了位置纳米级定位精度和高压指标要求，直线作动仪具有高推力、位置精度高、重复好、响应速度快等特点。不仅解决了高效液相色谱对于分析速度、测试灵敏度以及测试溶剂量的要求，还能够为超高效液相色谱仪的开发提供的技术支持。