用于膜厚度测量的光纤光谱仪及测量方法

本发明公开的用于膜厚度测量的光纤光谱仪，包括控制与数据处理模块、探测模块以及通过光纤耦合模块相连的光源模块和分光模块；光纤耦合模块将光源模块的宽谱光耦合后引导至分光模块；分光模块采用交叉型Czerny‑Turner光路结构，对光束依次进行准直、色散、聚焦处理；探测模块用于接收分光模块处理后的光信号并形成干涉图谱；控制与数据处理模块驱动采集、完成像素–波长定标及基于采集的干涉图谱计算膜厚度。本发明用于膜厚度测量的光纤光谱仪测量方法，解决了现有技术中实时检测膜厚度精确度低的问题。