一种卡盘的弯曲度测量装置及方法

本申请提供一种卡盘的弯曲度测量装置及方法，该装置包括第一移动平台、第二移动平台、卡盘、运动轴部件、马达和测量装置，第一移动平台和第二移动平台可以相对设置，第一移动平台的第一面与第二移动平台的第二面相对，卡盘可以位于第一移动平台的第一面，用于吸附晶圆，运动轴部件位于第二移动平台，马达安装在运动轴部件内部，测量装置安装在马达上，第二移动平台在第一方向上运动，马达在第二方向上运动，第一方向垂直于第二方向。通过控制运动轴部件可以在另一方向上移动，使得测量装置能够对卡盘上的任意一条路径进行测量，还可以对多条路径进行测量，能够更加全面和更加准确的测量出卡盘的形变程度，提高机台性能，进而提高器件质量。