一种高曲率灵敏度迈克尔逊干涉仪结构及制备工艺

本发明涉及工程曲率测量技术领域，且公开了一种高曲率灵敏度迈克尔逊干涉仪结构及制备工艺，包括长度约700μm的双非绝热锥级联实心球结构的核心传感单元，由芯径8.2μm、包层125μm的单模光纤，经熔接机按拉锥延迟300ms、速度0.75μm/ms、长度350μm等参数拉锥，再放电形成双锥、熔断收缩制实心球并校准锥腰直径至10‑15μm制成。该干涉仪在0.18‑0.8m⁻¹曲率范围灵敏度达‑52.18nm/m⁻¹，40‑120℃温度串扰0.000282m⁻¹/℃，兼具紧凑、高灵敏、低串扰、低成本优势，适用于航空航天、精密工业等高精度结构健康监测。