极低温制冷平台微振动测试方法、系统、平台及调试方法

本发明公开一种极低温制冷平台微振动测试方法、系统、平台及调试方法，测试方法通过将第一频率激光束照射测试位置，经制冷平台振动反射获得第二频率激光束，调制第一频率激光束得第三频率，捕获两束光生成振动检测信号并处理获取振动速度与位移信息。测试系统含激光器组件与数据处理模块，测试平台设光学窗口、激光器组件、数据采集及处理系统。调试时需对准激光束、调整聚焦与光电探测器。本发明采用非接触式测试，解决极低温高真空环境下精确且长时间跟踪测试振动的难题，位移分辨率达纳米至皮米级，满足百纳米量级振动测试需求，振动测试带宽覆盖兆赫兹，远超现有千赫兹水平，测量稳定性高。