双波长激光干涉法的非接触式气体压力检测装置及方法

本发明提供一种双波长激光干涉法的非接触式气体压力检测装置及方法，该装置包括激光器一、激光器二、全反镜一、双色合束镜一、全反镜二、扩束系统、分束镜、全反镜三、全反镜四、气楔结构测量腔、合束镜、双色合束镜二、聚焦透镜一、聚焦透镜二、CCD探测器一、CCD探测器二、控制终端和待测气源，气楔结构测量腔包括参考气腔和楔形待测气腔，激光器一和激光器二分别发出不同波长的激光光束一和激光光束二，控制终端对CCD探测器一以及CCD探测器二产生的激光干涉条纹图像进行分析处理并得到气体压力；本发明能够实现腔内气体压力的高精度非接触式测量，能够在更大的工作范围内实现测量，具有高准确性与可靠性的优点。