一种半导体设备喷淋头微孔检测设备

本发明公开了一种半导体设备喷淋头微孔检测设备，属于微孔检测技术领域，包括主体机构，主体机构上设置有用于对半导体喷头上的微孔进行检测的检测机构和用于将待检测的半导体喷头放到检测机构下方的放入机构；本发明设置的放入机构实现了检测与上下料的并行作业，当检测机构对一个喷淋头进行检测时，操作人员可以同步在外部工位取下已检测完成的工件并安装下一个待检测工件，整体检测效率得到大幅提升；本发明设置的检测机构与放置模块的协同运动，一方面，放置模块内的转动电机驱动喷淋头缓慢自转，另一方面，顶动电缸推动吹气管沿径向滑动，这两个运动的结合，使得气嘴能够覆盖喷淋头的整个端面。