一种可自我修复与动态厚度调控的TEM液态样品室及其制备方法

本申请提供一种可自我修复与动态厚度调控的TEM液态样品室及其制备方法，涉及TEM样品制备领域，样品室包括：相对设置的两个纳米纤维复合窗口，包括SWCNT增强的PDMS基体，纳米纤维复合窗口内部均匀分布有微胶囊，微胶囊内包含修复组分；间隔层，设置于两个纳米纤维复合窗口之间，待测液体在间隔层内形成液体层；压电调节组件，包括对称设置于间隔层相对两侧的一对压电元件，压电元件被配置为通过驱动间隔层变形实现液体层的厚度调节。本申请通过引入嵌入微胶囊的纳米纤维复合窗口，在样品室产生电子束诱导微裂时可以实现快速修复；通过压电元件对液体层的厚度进行动态调节，可以有效适应不同测试环境，并提升成像分辨率。