一种氧化镓基二极管的外延结构性能检测方法

本发明公开了一种氧化镓基二极管的外延结构性能检测方法，涉及晶体管领域，解决了现有外延结构性能检测方法存在检测效果的问题，包括步骤S1：分别获取目标待检测二极管在每一个预设功率下发光效率数值，并据此绘制功率光效坐标图，根据功率光效坐标获取目标待检测二极管所对应的合格光效功率区间，步骤S2：分别获取目标待检测二极管在每一个特征功率下的显色指数值，并据此绘制显色指数坐标图，根据显色指数坐标获取目标待检测二极管所对应的合格显色功率区间，步骤S3：根据合格显色功率区间以及合格光效功率区间对样本氧化镓基二极管进行性能检测，并根据检测结果发布性能预警，本发明能够提高二极管性能检测结果的准确性。