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기록
一种芯片测试方法
발명유효
10청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
袁晖; 金兴成; 赵明浩; 郭崇永; 李宏博
IPC 분류
G01R 31/28 (2006.01)H10P 74/00 (2026.01)G11C 29/08 (2006.01)G11C 29/38 (2006.01)G11C 29/50 (2006.01)G11C 29/56 (2006.01)
本发明公开了一种芯片测试方法,包括:执行第一晶圆测试,所述第一晶圆测试包括唤醒步骤;执行第一环境筛选;执行第二晶圆测试,所述第二晶圆测试包括去极化步骤;执行第二环境筛选;执行第三晶圆测试;其中,每次所述晶圆测试至少包括直流参数测试和功能测试。根据本发明提供的芯片测试方法,包括至少三次晶圆测试,并且在相邻的两次晶圆测试之间执行环境筛选,通过在第一晶圆测试中执行唤醒步骤,使芯片恢复读写功能,避免芯片被误判为失效,从而降低第一晶圆测试的误判率,通过在第二晶圆测试中执行去极化步骤,可以提高第二晶圆测试中故障芯片检出率,并降低第三晶圆测试中故障芯片的新增率,从而实现故障芯片的及早检出,降低芯片制造成本。