检查装置

在使用红外线传感器非接触地测定具有多个被检查体的晶圆的表面温度时，能够修正产生误差的主要原因，精度良好地进行测定。本发明提供一种检查装置，其使电触头与晶圆上的被检查体的电极端子接触，经由电触头使测试器与被检查体之间电连接来检查被检查体，所述检查装置具备：晶圆支承部，其支承晶圆；红外线受光部，其至少以晶圆为测定对象接受晶圆辐射的红外线；以及温度测定控制部，其根据由红外线受光部接受的红外线的红外线辐射量控制测定对象的温度测定，温度测定控制部具有对基于晶圆的红外线辐射量的测定温度进行修正的温度修正部。