一种集成微流体通道的光纤波导软致动器及其制作方法与应用

本发明提供一种集成微流体通道的光纤波导软致动器及其制作方法与应用，涉及光纤波导软致动器技术领域。包括依次贴合粘接的热致形变层、光热转换层、光纤层和通道层。沿光纤层x轴或y轴方向开设有供光纤穿过的光纤通道；在通道层开设有微流体通道，沿通道层z轴方向开设有贯穿孔；微流体通道与光纤通道的开设方向相同，微流体通道的一端为开口，另一端与贯穿孔连通。本装置结构简单、制造工艺可控、驱动响应灵敏，能够在光能驱动下实现致动器形变与流体的同步操控，为仿生抓取、微流体传输及可控释放等应用提供新的实现途径和技术基础。